型號

KLMO-2

KLMO-2D

KLMO-3

KLMO-6

工作空間

W/D/H ㎜

600/500/600

600/600/600(2箱独立)

600/500/900

1200/700/1000

外尺寸

W/D/H ㎜

1060/1240/1550

1600/1500/1080

1060/1240/1850

2010/1010/1800

升溫時間(空載)

室溫～200℃：30Min

室溫～200℃：30Min

室溫～200℃：30Min

室溫～200℃：50Min

電力 KVA

7.5

15

10

34

溫度範圍

60~200℃(300℃)

溫度系統

Input: CA Sensor     Output: SSR

溫度均勻度

±1.5%(空載測試)

進氣量

N2 或 Clean Air   MAX: 25 l/min

進氣口

￠6㎜

￠6㎜

￠6㎜

￠12㎜

排氣口

￠3″自動風門

潔淨度

Class100#,   FED-STD-209E潔淨等級標準

內箱材質

SUS304＃鏡面不銹鋼

外箱材質

SST41＃鋼板經防銹處理後高溫粉體烤漆

電熱

(SHEATHED HEATER)無塵化電熱發生器

配備

HEPA Filter 、壓差計、流量計