□ 應用:FPD(STN-LCD、TFT-LCD、COLOR FILTER、Touch Panel、OLED、PDP)、IC(晶圆、封装)、CMOS(摄像头)等制程烘烤
□ 特點
1. 內、中桶材質採用SUS304#無磁性鏡面不銹鋼,外膛採用 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理後兩層防光面塗裝烤漆,可防止微塵(PARTICLE)
2. 全周氬焊,耐高溫矽膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱産生器,防機台本身産生PARTICLE
3. 無塵等級可達到車間環境等級,烤箱本身不産塵