[推荐]紫外线在表面处理中的应用介绍

UV干式清洗与湿式清洗的比较

	湿式清洗	干式清洗
优点	能清除微粒状生产线一贯处理性好	无微粒子、无毒性清洗可能不受溶液表面张力的干扰，超微细部的清洗可表面清洁度可少于单分子层
缺点	易受清洗液的污染传送部与晶片间易发尘细微部的清洗困难	对清除微粒状污染效果差

干式清洗不受溶液表面张力的干扰，随着半导体微细化的深入，100nm以下晶元等元件的生产中不可或缺的清洗技术，随着人们对环境要求的提高干式清洗也将逐步替代湿式的传统清洗技术。

表面改性的效果

表列出了对一些工程塑料表面处理的效果。

一些常用工程塑料表面的UV处理效果

材料	无处理→UV处理
PP	×→◎
尼龙6.6	△→◎
PBT	△→◎
PEI	△→◎
PCT	△→○

　　　　　　　　　表面亲水性：×极差；△差；○一般；◎好
例如，对工程塑料PBT（聚对苯二甲酸丁二醇酯）表面照射，结果显示，经照射后表面C-H结合减，-COO-增加，C=O产生，表明表面得到改质。这样，具有多极性的富有氧的原子团的增多材料表面的亲水性得到提高。表面处理后对提高材料表面的接着性非常有效。

[1]高出力紫外线光源在表面清洗处理中的应用

近年，由于大功率超高出力低气压UV放电管开发的进展，以及随着微电子等产品的超微细化，在微电子、超精密器件等产品的制造过程中，由短波长紫外线及其产生的臭氧对其产品的表面进行超精密清洗或改善其表面的接着性、附着性的干式光表面处理技术的实用化进展得很快。现在，需要提高成品率的半导体器件、液晶表示元件、光学制品等制造中，紫外线UV和O₃臭氧并用的干式光表面处理技术已成不可缺少的技术手段。作为氟里昂的替代技术，光表面清洗技术将逐渐取代湿式的传统技术。

本公司的国内首先开发的高出力与超高出力低气压UV放电管发出的具有代表性的紫外线是253.7nm及184.9nm，光子能量分别为472KJ/mol和647KJ/mol，能切断绝大多数的分子结合。UV照射固体表面后，表面的污染物有机分子结合被强的光能切断、氧化，而后被分解成CO₂和H₂O等易挥发性物质，最终挥发消失。表面被清洗后的其清洁度极高，能把膜状的油污清洗到单分子层以下。

○大气中处理，简单方便，环保无二次污染，无需加热、药液等处理。

○清洁度极高，单分子层以下，可以得到从来处理方法难以想象的清洁度、接着性

○国内独有的超高出力短波长紫外线光源，仅需短时间（秒单位）照射，发挥强大的处理能力，从实验室进入实用。

一般工业或高科技领域使用的一些材料具有非常高的性能，对环境也非常的有好处，但这些材料的接着性、印涂性等一般都非常差。本公司提供的短波长紫外线（UV）表面清洗、表面改性技术，用清洁的高能紫外线光源，对上述材料进行处理后可得到极其清洁的表面和强力的表面接着性。

改性的基本的反应就是UV引起的氧化反应。UV照射固体表面后，表面的污染物被氧化，而后被分解成CO₂和H₂O等易挥发性物质，最终挥发消失。并且表面形成有利表面接着的如OH，COO，CO，COOH等亲水性原子团，被改性的表面接着性得到飞跃性地提高。

UV光源技术的进步保证了UV/O₃表面改性技术充分发挥其突出的优越性。UV/O₃表面改性技术因能处理得到极高的清洁度与表面接着性，在固体表面处理中越来越得到广泛的应用。

特点

○大气中处理，简单、方便、环保，无二次污染，无需加热、药液等处理。

○清洁度极高，单分子层以下，从来处理方法难以想象的接着性可以得到。

○国内独有超高出力短波长紫外线光源，仅需短时间（秒单位）照射，发挥强大的处理能力，从研究用进入量产用。

○对绝大多数塑料成型品照射有效，适用性广。

○可避免大量消耗药液、热能等，运行成本低。

[3]紫外线UV固化技术

UV固化技术是用UV光线（主要波长365nm，特殊场合254nm）照射在含有光重合性预聚体、光重合性单体、光开始剂的涂料、接着剂或油墨等UV硬化树脂后，以秒单位快速硬化、干燥的技术。而通常的热干燥法、2液混合法中的重合反应法对树脂的干燥普通需要数分到数小时。

UV固化树脂的3特征：

○工艺加工时间大大缩短。大多的情况下，以秒单位快速固化。

○UV固化树脂是单一液剂，不必和溶济等混合，UV照射前不会硬化，可修正操作。

○比较传统的热处理法，固化时间短，不会引起产品的变质变色，作业温度低，操作容易。

传统的杀菌方法一般是利用加热、加药等手段，但这些处理方法所花时间长，可能对处理对象产生不利的变化，对环境也会产生二次污染。用照射紫外线进行杀菌可完全避免以上问题。波长200～290nm的紫外线能穿透细菌、病毒的细胞膜，给核酸（DNA）以损伤，使细胞失去繁殖能力，达到快速杀菌的效果。

UV表面杀菌装置广泛应用于食品、电子、半导体、液晶显示器、等离子电视、水晶振动子、精密器件、化工、医学、保健、生物、饮料、农业…等等广泛领域。UV光源照射食品、材料等表面，具有快速高效、无污染的杀菌效果，从而维持贵方产品的高品质。

特征

1．仅需短时间（秒单位）照射，就能起到杀菌目的

2．连续/批处理方式选择

3．无需加热、药液等处理

4．简单、环保无二次污染